技术必定能提大幅提高光刻机效率的。当初我就在想,这玩意将来要是搞出来,再加上最先进的制程……那真的就能拳打尼康,脚踢佳能了。要知道,光刻机这种印钞机,是真正的赢家通吃啊……”
苏远山先安慰了一下曲慧,紧接着便又等到了有点倒时差意味的赵凯东教授——赵凯东的团队为了配合大洋彼岸的林本坚团队,他们在远芯科技园过起了加利福利亚时间。得益于远芯的宽带在全国的企业和单位里都是出了名的快,他们的线上交流倒是很方便。
这边赵凯东因为是放弃了原本的KBBF晶体,直接转向稀有气体——krf方向,因此一开始还是以林本坚为主导的。但随着研发进度的加快,再加上赵凯东等人“雪耻”的心情,以及……出身自长光所这种“名门大所”与生具来的对技术的敏感,赵凯东的团队渐渐追上了进度,现在双方已经谈不上谁主导谁,只是双方负责不同的领域,朝着同一个目标前进罢了。
……
当苏远山走出光学实验室时,外面的天已经阴了下来,颇有下暴雨的意思。于是苏远山也就不骑车了,和曲慧边聊边往自己办公室里那边走。
“你怎么解决?”曲慧双手插兜,慢摇摇地和苏远山并肩走着。
“曲慧姐,首先……只要精密仪器厂那边在搞双工件台的技术,那么原则上远芯是没有办法过多干涉的。”苏远山走出郑振川的办公室后才正色道:“这不是官僚也不是给面子的问题,而是远芯不能用咄咄逼人的态度,就跟个霸王一样地去质问人家。”
“因为出了问题就找问题然后再解决问题是再正常不过的了,你不能来不来就全盘推翻人家的设计——这是很羞辱人的。”
曲慧便咬了咬唇,瞪了苏远山一眼。
苏远山心底便一阵好笑。
曲慧之所以有这种心态,完全是被惯出来的——无论是当初EDA时期也好,还是后来转CAD也好,她一直都是专心负责自己的领域,并在自己的领域内有着说一不二的脾气和权威。
但随着身份地位越高,这次去精密仪器厂搞个合作,反倒是处处都感觉掣肘。
“你的意思就是不管了?”
“当然要管,只不过不能这么激烈。首先……曲慧姐,你来判断一下,精密仪器厂那边到底是有心想搞技术,还是一帮人想胡乱搞点钱——这个很重要,是前提。”
“……”曲慧再次咬了咬唇,沉默几秒后道:“污蔑人的事我还是干不出来的,虽然厂里官僚气息比较重,但不得不说,这还是一家能够沉下心做研发的企业。”
苏远山便笑了:“你看,我们把这个基调定下来就好了。既然是能够沉下心来搞技术,搞研发,那现在的矛盾主要就集中在解决问题的分歧上。国内在机械设计领域中一向比较薄弱,这次的双工件台,说白了有点异想天开的意思——这种技术,理论上是只会诞生在生产光刻机的企业里。”
“精密仪器研究所那边接触光刻机,只是当初各个单位支持国产光刻机研发的时候有过机会,现在他们愿意为了为了国内半导体事业继续往晶圆厂的需求方面走,这是值得赞扬的好事。”
“所以,先不着急,慢慢来。”
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